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三氫化砷傳感器

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三氫化砷又名砷烷(AsH3),是一種毒性很強且有蒜臭味的可燃氣體。盡管如此,砷烷在半導體工業中仍廣泛使用,同時也可用于合成各種有機砷化合物。砷烷傳感器是用來檢測空氣中三氫化砷含量,以確保所處環境中人員生命安全為目的傳感器。主要可用于微電子和半導體制作及化工等行業的有毒氣體監測中。

砷烷傳感器在傳統的二電極電化學毒氣傳感器的基礎上,通過增加參考電極將傳感器的電極數增加到了三個。三電極砷烷傳感器比普通的二電極傳感器在外部多了一個穩壓電路,并同內部的參考電極一起起到穩定感應電極電動勢作用。如此,即使負電極持續極化也不會對感應電極產生任何影響,感應電極電動勢也不會超出范圍。所以三電極砷烷傳感器具有更廣的測量范圍和線性度。

型號 量程 使用壽命 響應時間 靈敏度 重量 輸出 線性度 零漂 
AsH3 3E 1 LT 0-1ppm 2年 <30s 1400±450nA/ppm 4.5g 電流 <10%全量程 <±40ppb 
AsH3 3E 1 F LT 0-1ppm 2年 <30s 1400±450nA/ppm 4.5g 電流 <10%全量程 <±40ppb 



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下載圖標(1).png 三氫化砷傳感器參考資料↓

 三氫化砷傳感器.pdf


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